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汞灯UV固化机,方便更换灯管抽拉式UV曝光设备。
配合半导体全自动化设备用的晶圆解胶UV曝光设备。
替代日本ORC-晶圆解胶曝光设备。
替代日本ORC-晶圆光刻胶曝光设备。
应用
半导体晶圆解胶,晶圆光刻胶曝光应用的高强度 UV 照射,可实现编程式
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