技术稳定,畅销多年 精准稳定输出的UV解胶机固化系统 紧凑型UV-LED解胶机:12寸晶圆用 发光波长可根据客户定制 波长:365nm 最大光功率输出:参考下表格清单 自带光功率监测及上下限报警 | 特点 超长寿命 不同波长可选择,可定制复合波长 最小1%功率可调 LED智能化控制 | 优势 高均匀度 适合低温材料 无需预热固化 无待机时间 可轻松更换不同波长的发光头 |
应用 •半导体晶圆解胶,晶圆光刻胶曝光应用的高强度 UV 照射,可实现编程式射 •可在洁净厂房中使用 |
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